辞百万年薪，60岁毅然回国，他彻底改写中国芯片史
2025-03-24
文章转载自"北大纵横"
作者 | 华人作者团
2004年，一位60岁的老人从美国硅谷飞抵上海浦东。老人闻言爽朗大笑：“太好了，以后我就是38岁的人！”这位老人，正是被誉为“中国芯片刻蚀机之父”的尹志尧。此刻，他正把人生刻度重置到了中国芯的起跑线。2025年1月15日，企业家之夜活动现场，81岁的尹志尧手捧鲜花，作为当天晚上年龄最大的获奖者，接受大家的致敬。
● 企业家之夜，尹志尧博士领奖瞬间。图片来源：微博@中微公司官微已耄耋之年的他，还神采奕奕地指挥着北京四中合唱团的孩子们，唱响了《中微之歌》。伴随着孩子们激情洋溢的歌声，尹志尧的传奇大幕悄然拉开。从北大学子到硅谷精英
但在高科技领域，它是半导体制造中不可或缺的核心设备之一，更是我国制造“中国芯”的基石。
正是在尹志尧及其团队的努力下，中国才得以自主生产出刻蚀机，并迫使美国取消了对我国刻蚀机出口的禁令。如今，中微公司的刻蚀设备，在实验室达到0.02纳米的精准度，而国外刻蚀机巨头目前量产能力尚在5纳米到3纳米阶段。正因如此，很多人说，尹志尧这个名字，注定会载入史册。1944年，祖籍安徽的尹志尧，出生于北京一个知识分子家庭。由于祖父和父亲都曾在国外留学，尹志尧在浓厚的文化氛围中长大，接受了良好的教育。高中毕业后，尹志尧考入中国科技大学化学物理系，后在兰州炼油厂和中科院系统工作。当时北京大学有两栋很特别的大楼，里面装着密密麻麻的电子管，那是国内最先进的计算机，内存为128K（相当于现代手机内存的百万分之一）。而彼时的尹志尧并不知道，未来有一天，他主持研发的设备，能在米粒上雕刻出10亿个汉字。1980年，36岁的尹志尧在亲戚的帮助下赴美留学。
4年后，他以优异的成绩拿到美国加利福尼亚大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。毕业后的尹志尧，进入美国硅谷半导体巨头英特尔公司，开启了他传奇般的科技人生。工作2年后，他跳槽到华人林杰屏创建的泛林集团（LAM）。
在泛林的5年中，尹志尧从研发部资深工程师做到了资深经理，还开发出了彩虹号等离子体刻蚀机。有了尹志尧这员干将，泛林得以快速发展，从一个岌岌可危的小公司，蜕变成为市场占有率40%的行业第一。在硅谷，尹志尧成了香饽饽，各大半导体公司争相拉拢，欲将其招之麾下。
1991年，尹志尧接受了美国应用材料（AMAT）公司的邀请，担任总部首席技术官。在他的牵头下，AMAT公司相继研发出多款新型刻蚀机，再次回到了刻蚀机全球龙头的位置。在半导体行业深耕20年，尹志尧一共拥有280多项多国专利，行业有一半企业都用过他参与研发的设备。基于他的成就和对AMAT的贡献，尹志尧被任命为公司副总裁。在国内民众月收入仅有千元左右的时代，尹志尧就已经过上了年薪百万、财富自由的生活。在硅谷打拼的华人虽然为数不少，但有如此成就者实属凤毛麟角，堪称硅谷传奇。2004年，即将60岁的尹志尧面临退休。在世人看来，他在异国他乡辛苦打拼半生，如今优渥清闲的退休生活触手可及，是到了该享受人生的时候了。这一年，在一次国际半导体设备展览会上，尹志尧邂逅了上海经委副主任江上舟。江上舟是尹志尧在北京四中的校友，毕业于清华无线电专业的他，很早就意识到集成电路领域发展的重要性。
当时，我国的芯片来源主要靠进口，而以美国为首的西方国家，动不动就把芯片纳入管制范畴。江上舟深知，要打破这个局面，变被动为主动，最好的办法就是实现自主生产芯片。当时中芯国际已经落户上海，如果刻蚀机也能实现国产化，那对“中国芯”的制造必将如虎添翼。
于是，江上舟向刻蚀机专家尹志尧发出了邀请，他诚恳地说道：“回来吧，我们一起干，我已经是癌症晚期，哪怕豁出这条命，也要造出中国自己的刻蚀机，这样就再也不怕外国人卡我们的脖子了。”听到老同学的肺腑之言，尹志尧身为中国人的血液在燃烧。想到自己的父辈，不管面对多少诱惑，都坚定地选择回国，积极投身国家建设。而自己这20年来，一直在为美国人作嫁衣，为美国做贡献，却唯独没有用自己的学识来回报祖国。
在美国生活多年的尹志尧，心里很清楚，即便美国再发达，也无法给他带来归属感。尽管没有任何创业经验，可60岁的尹志尧，毅然带领15人的团队飞抵上海，在浦东创办了中微半导体设备公司。
那时，我国的集成电路刚刚起步，资金、人才、设备方面都存在较大缺口，加上刻蚀机研制生产的复杂程度，不亚于两弹一星，这就使得尹志尧的创业之路，无比坎坷艰辛。可无论有任何困难，都阻碍不了他为祖国研制刻蚀机的激情和决心。政府部门投入的资金消耗殆尽后，那就跑回美国拉融资。没有做微观设备所需几十个领域的专业技术人才，就从各大院校招些相关专业学生来培养。2007年，中微公司第一台CCP刻蚀机交付成功，这可是中国自己制造的大国重器啊！
他说芯片制造，好比在人的头发丝的几千分之一甚至几万分之一的尺度上，盖一个50到60层的大楼。
其中最关键的几种设备里，薄膜机负责铺好材料，光刻机在上面画好花纹，然后刻蚀机再把多余的地方剪掉，像剪窗花一样。随着科技的发展，芯片的体积越来越小，精度也越来越高，加工步骤也越来越多，刻蚀机的作用也就越来越大。随后数年，尹志尧带着他的团队攻克了一个个难关，刻蚀机从14纳米到7纳米，再到5纳米，缔造了一个个中国传奇。然而，这份亮眼的成绩单，却让尹志尧的几个前东家不淡定了。2007年10月，他们向美国法院提请诉讼，状告尹志尧和中微公司商业秘密侵权。
理由是，中微公司的核心技术人员，都曾在硅谷的相关公司服务过。作为美国芯片制造装备研发领域的专家，尹志尧深知专利技术的堡垒，又怎会犯这种原则性的错误？从研发的第一天，他就要求团队成员不光要避开行业内的几百个专利技术，还要避开原公司的所有设计方案。这样做，既能避免纠纷，也保护了中微公司的知识产权。这场官司打了两年半，美国律师在彻查了中微公司内部600多万份文件后，证实中微公司的刻蚀机技术全部是自发研制。
● 尹志尧在中微半导体设备（上海）有限公司前台留影而在中微公司与AMAT的官司还未了结前，前前东家泛林也向台湾法院起诉中微公司侵权。当起诉被驳回后，中微公司以侵犯商业机密为由，向泛林提起了反诉讼。法院不仅判决侵权成立，还勒令泛林销毁与中微公司刻蚀机技术相关的所有文件和照片，此事才算尘埃落定。中微公司在半导体行业的崛起，早已惊动了美国商务部和国防部。2015年，美国商务部识时务地撤销了对中国出口等离子刻蚀机的禁令。可美国国防部却两次无理由地，将中微公司列入军事企业清单。中微公司据理力争，并于2024年8月状告美国国防部。● 中微公司起诉美国商务部。图片来源：中微公司官微2024年12月，他们将中微公司移除了清单，并撤销了对我国低端芯片的制裁。至此，在中美这场旷日持久的芯片大战中，中国大获全胜。都说对手是最好的老师，多年来，美国在芯片技术方面的“卡脖子”，极大地推动了我国集成电路产业自主研制的进程。如今，我国芯片制造的几大关键设备，都已经实现国产化。特别是中微公司生产的刻蚀机设备，不仅精度达到全球最高水平，并且全部由国内供应商替代。这意味着，我国的芯片技术已经一飞冲天，从行业追赶者变成了领跑者。中微公司经过短短20年的时间，就成为全球顶尖的半导体设备供应商，被誉为“华人半导体之光”。
作为世界顶尖的科学家，尹志尧有着非同一般的眼光与格局。尹志尧深知，芯片不是哪个英雄造出来的，而是成千上万个工程师和工人共同努力的成果。
在中微公司市值到达1000亿的那天，全公司750人有50人身家超过1亿；375人身家在1000万到1亿之间；就连入职才两三年的新人，也有100万到1000万的身家。令人出乎意料的是，作为中微创始人的尹志尧，却只有公司0.7%的股份。从硅谷精英到民族工业脊梁，尹志尧用20年诠释了什么是不忘初心。从花甲之年归国创业，到带领中微公司打破国际垄断，他的故事不仅是中国芯片崛起的缩影，更是一曲永不言败的科技战歌。“芯片战争”未有终局，但尹志尧的信念始终如一，哪怕我们起步晚了30年，只要咬牙坚持下去，就一定能做到世界前沿。正如尹志尧冻龄永驻的“38岁”青春，“中国芯”将永远年轻，永远热血沸腾！● 参考资料
[2] 英才杂志｜60岁回国创业，“中国刻蚀机之父”尹志尧的第三人生[3] 杨澜访谈录｜逐风者 硅谷之神尹志尧辞美国百万年薪，60岁空手回国创业[4] 第一财经｜尹志尧：永远“38岁”，开发了“纳米刻蚀机”丨浦东30年·财经30人[5] 上财商学评论｜专访中微公司创始人、董事长尹志尧：花甲再创业，只为不再“芯”痛[6] 华商韬略｜中国芯片刻蚀机之父，心态永远38岁！
文中观点仅为作者观点，不代表本平台立场
各位读者朋友，公众号改了推送规则，如果您还希望第一时间收到我们推送的文章，请记得给北大纵横公众号设置星标。
点击左下方公众号“北大纵横”→点击右上角“...”→点选“设为星标⭐️”。 
